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产品介绍：
KJ-1200-S6014LK1-H这款设备是专为生长石墨烯研制的石墨烯薄膜生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，温区可独立程序控制，设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
主要参数：
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产品名称 |
石墨烯生长炉CVD系统 |
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型号 |
KJ-1200-S6014LK1-H |
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滑轨管式炉 |
炉体结构 |
滑轨式 |
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最高工作温度 |
1200℃ |
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持续工作温度 |
≤1100℃ |
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加热速率 |
最高20℃/min （建议10℃/min） |
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加热区长度 |
300mm 单温区 |
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加热元件 |
含钼电阻丝 |
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热电偶 |
K 型 |
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控温精度 |
±1℃ |
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炉管直径 |
Φ50，Φ60，Φ80都可用 |
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炉管材质 |
石英炉管 |
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温度控制器 |
PID智能程序控温 |
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真空法兰 |
真空法兰采用304不锈钢制作 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍 注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰
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输入电源
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单相 220V, 50 Hz 功率：3KW |
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真空泵系统 |
旋片真空泵带数字真空计 （包含KF25接口和可移动箱体）
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极限真空度 10-3 Torr. 炉管内真空度 10-2 Torr. 抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min) 备注：用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组，分子泵组 |
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质量流量计
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3路高精度质量流量计: 量程：MF1-MF3量程范围50-1000sccm可调 底部安装有一个混气罐，左侧安装有3个不锈钢针阀，可手动控制3种气体的流量。
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注意事项 |
. 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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认证 |
ISO认证、CE认证 |
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售后服务 |
质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） |
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