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产品介绍：
KJ-T1200-S5020-F单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统，适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。
技术参数：
KJ-T1200-S5020-F单温区微型CVD系统是由MINI管式炉和两通道浮子流量计气路和真空系统组成的一款特殊的CVD系统，适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。
技术参数：
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型号 |
KJ-T1200-S5020-F |
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mini管式炉 |
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炉管直径 |
Φ50 |
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加热区 |
200mm |
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温度温度 |
最高1200℃，工作温度1100℃ |
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加热速率 |
0-20℃/min，建议20℃/min |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
含钼电阻丝 |
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控制方式 |
PID智能化多段程序控温 |
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炉管材质 |
石英管 |
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额定电压 |
110-415V，50/60Hz |
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气路系统 |
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浮子流量计 |
两个浮子流量计量程为16 —160mL/min ，混气箱上安装有不锈钢针阀，后端装有φ6.35卡套接头，无需通电 |
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真空系统 |
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真空泵 |
1.采用国产真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 3.进口数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换 |
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注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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质保 |
质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） |